Sensirion, švajcarska firma koja se bavi proizvodnjom senzora vlažnosti i protoka baziranih na CMOSens® tehnologiji, proizvela je senzor za precizno merenje malih protoka SLQ-HC60. Ovaj novi, vodootporni senzor predstavlja nastavak serije senzora koje je proizvela firma Sensirion, koji su precizni, pouzdani, prilagođeni različitim ulovima korišćenja i zasnovani na novoj tehnologiji.
Senzor je baziran na MEMS tehnologiji i dizajniran je za specifične potrebe automatskih sistema. Ovaj mali i brzi, visoko osetljiv merač protoka omogućava brzo i precizno merenje promenljivih protoka. Takođe, moguće je i detektovanje malih mehurića u fluidu pomoću ovog senzora. Predviđen je za merenje protoka koji su ispod 100ml/min različitih vrsta fluida. Za detekciju protoka se koristi CMOSens® mikročip, koji može da detektuje i vrlo male protoke.
Neke od osnovnih karakteristika ovog senzora su robusno kućište pogodno za industrijske aplikacije, kratko vreme odziva (< 50 ms), napravljen od inertnih materijala i otporan na razne hemikalije, sa pravom putanjom protoka bez korišćenja pokretnih delova, sa visokom osetljivošću čak i kod veoma malih protoka. Za sva merenja ima odličnu ponovljivost, analogne izlaze raspona 0 do 10V, napajanje od 24V.
Namenjen je raznim namenama u industriji kao što su monitoring procesa, protoka goriva, doziranjima fluida raznih namena, detekciji curenja, detekciji mehurića i generalnoj detekciji postojanja protoka.
O CMOSens® tehnologiji
CMOSens® tehnologija predstavlja spoj senzora i kola za evaluaciju u okviru jednog CMOS čipa. Jezgro svakog ovakvog senzora je posebno razvijen i patentiran poluprovodnički čip. Posebne senzorne strukture su implementirane na čipu pomoću tehnologije namenjene mikro sistemima. Ovaj spoj realizovan u okviru CMOS čipa daje mogućnost da se osetljivi, analogni signali sa senzora pojačaju i digitalizuju bez pojave šuma i sa visokom preciznošću. Senzori zasnovani na ovoj tehnologiji ostvaruju odličnu tačnost pri merenjima kao i visoku ponovljivost i ofset stabilnost.
Takođe, senzori razvijeni u okviru ove tehnologije poseduju i dodatne mogućnosti u okviru čipa za funkcionalnu kontrolu senzorskog elementa, kao i potpunu temperaturnu kompenzaciju i linearizaciju. Zbog toga što je sva obrada analognog signala lokalizovana u okviru jednog čipa, redukovana je mogućnost pojave šuma, što čini ovaj sistem veoma pouzdanim čak i u veoma nepovoljnim uslovima rada.
